Реферат: Расчёт и проектирование маломощных биполярных транзисторов

<span Bookman Old Style",«serif»">СаратовскийГосударственный Технический

Университет

Кафедра «Электронные приборыи устройства»

Курсоваяработа

На тему:

«Расчёт и проектированиемаломощных биполярных транзисторов»

Выполнил: ст. Козачук В. М.

Проверил: доц. Торопчин В. И.

САРАТОВ 1999г.

<span Bookman Old Style",«serif»;font-weight:normal">Оглавление.<span Bookman Old Style",«serif»; font-weight:normal">

 TOC o«1-3» h z Оглавление.… PAGEREF _Toc469756976 h 1<span Times New Roman",«serif»; text-transform:none;font-weight:normal;mso-no-proof:yes">

1.<span Times New Roman",«serif»; color:windowtext;text-transform:none;font-weight:normal;mso-no-proof:yes; text-decoration:none;text-underline:none">        Введение… PAGEREF _Toc469756977 h 2

<span Times New Roman",«serif»; text-transform:none;font-weight:normal;mso-no-proof:yes">

2.<span Times New Roman",«serif»; color:windowtext;text-transform:none;font-weight:normal;mso-no-proof:yes; text-decoration:none;text-underline:none">        Цель задания… PAGEREF _Toc469756978 h 2

<span Times New Roman",«serif»; text-transform:none;font-weight:normal;mso-no-proof:yes">

3.<span Times New Roman",«serif»; color:windowtext;text-transform:none;font-weight:normal;mso-no-proof:yes; text-decoration:none;text-underline:none">        ОБЩАЯ ЧАСТЬ… PAGEREF _Toc469756979 h 2

<span Times New Roman",«serif»; text-transform:none;font-weight:normal;mso-no-proof:yes">

3.1<span Times New Roman",«serif»; font-variant:normal !important;color:windowtext;mso-no-proof:yes;text-decoration: none;text-underline:none">         Техническоезадание.… PAGEREF _Toc469756980 h 2

<span Times New Roman",«serif»; font-variant:normal !important;mso-no-proof:yes">

3.2<span Times New Roman",«serif»; font-variant:normal !important;color:windowtext;mso-no-proof:yes;text-decoration: none;text-underline:none">         Параметры,выбранные самостоятельно.… PAGEREF _Toc469756981 h 2

<span Times New Roman",«serif»; font-variant:normal !important;mso-no-proof:yes">

3.3<span Times New Roman",«serif»; font-variant:normal !important;color:windowtext;mso-no-proof:yes;text-decoration: none;text-underline:none">         Переченьиспользуемых обозначений… PAGEREF _Toc469756982 h 3

<span Times New Roman",«serif»; font-variant:normal !important;mso-no-proof:yes">

4.<span Times New Roman",«serif»; color:windowtext;text-transform:none;font-weight:normal;mso-no-proof:yes; text-decoration:none;text-underline:none">        Выбор технологии изготовления транзистора… PAGEREF _Toc469756983 h 5

<span Times New Roman",«serif»; text-transform:none;font-weight:normal;mso-no-proof:yes">

4.1<span Times New Roman",«serif»; font-variant:normal !important;color:windowtext;mso-no-proof:yes;text-decoration: none;text-underline:none">         Сплавно-диффузионныетранзисторы.… PAGEREF _Toc469756984 h 5

<span Times New Roman",«serif»; font-variant:normal !important;mso-no-proof:yes">

4.2<span Times New Roman",«serif»; font-variant:normal !important;color:windowtext;mso-no-proof:yes;text-decoration: none;text-underline:none">         Структурасплавно-диффузионного p-n-p… PAGEREF _Toc469756985 h 7

<span Times New Roman",«serif»; font-variant:normal !important;mso-no-proof:yes">

5.<span Times New Roman",«serif»; color:windowtext;text-transform:none;font-weight:normal;mso-no-proof:yes; text-decoration:none;text-underline:none">        ОСНОВНАЯ ЧАСТЬ… PAGEREF _Toc469756986 h 8

<span Times New Roman",«serif»; text-transform:none;font-weight:normal;mso-no-proof:yes">

5.1<span Times New Roman",«serif»; font-variant:normal !important;color:windowtext;mso-no-proof:yes;text-decoration: none;text-underline:none">         Расчёттолщины базы и концентраций примесей.… PAGEREF _Toc469756987 h 8

<span Times New Roman",«serif»; font-variant:normal !important;mso-no-proof:yes">

5.2<span Times New Roman",«serif»; font-variant:normal !important;color:windowtext;mso-no-proof:yes;text-decoration: none;text-underline:none">         Расчеткоэффициента передачи тока… PAGEREF _Toc469756988 h 11

<span Times New Roman",«serif»; font-variant:normal !important;mso-no-proof:yes">

5.3<span Times New Roman",«serif»; font-variant:normal !important;color:windowtext;mso-no-proof:yes;text-decoration: none;text-underline:none">         Расчетемкостей и размеров переходов… PAGEREF _Toc469756989 h 11

<span Times New Roman",«serif»; font-variant:normal !important;mso-no-proof:yes">

5.4<span Times New Roman",«serif»; font-variant:normal !important;color:windowtext;mso-no-proof:yes;text-decoration: none;text-underline:none">         Расчетсопротивлений ЭС и граничных частот… PAGEREF _Toc469756990 h 12

<span Times New Roman",«serif»; font-variant:normal !important;mso-no-proof:yes">

5.5<span Times New Roman",«serif»; font-variant:normal !important;color:windowtext;mso-no-proof:yes;text-decoration: none;text-underline:none">         Расчетобратных токов коллектора… PAGEREF _Toc469756991 h 14

<span Times New Roman",«serif»; font-variant:normal !important;mso-no-proof:yes">

5.6<span Times New Roman",«serif»; font-variant:normal !important;color:windowtext;mso-no-proof:yes;text-decoration: none;text-underline:none">         Расчетпараметров предельного режима и определение толщины элементов кристаллическойструктуры… PAGEREF _Toc469756992 h 15

<span Times New Roman",«serif»; font-variant:normal !important;mso-no-proof:yes">

5.7<span Times New Roman",«serif»; font-variant:normal !important;color:windowtext;mso-no-proof:yes;text-decoration: none;text-underline:none">         Расчётэксплутационных параметров… PAGEREF _Toc469756993 h 15

<span Times New Roman",«serif»; font-variant:normal !important;mso-no-proof:yes">

6. Выбор корпуса транзистора… PAGEREF _Toc469756994 h 16<span Times New Roman",«serif»; text-transform:none;font-weight:normal;mso-no-proof:yes">

7. Обсуждение результатов… PAGEREF _Toc469756995 h 18<span Times New Roman",«serif»; text-transform:none;font-weight:normal;mso-no-proof:yes">

8. Выводы:… PAGEREF _Toc469756996 h 18<span Times New Roman",«serif»; text-transform:none;font-weight:normal;mso-no-proof:yes">

9.<span Times New Roman",«serif»; color:windowtext;text-transform:none;font-weight:normal;mso-no-proof:yes; text-decoration:none;text-underline:none">        Список используемой литературы… PAGEREF _Toc469756997 h 20

<span Times New Roman",«serif»; text-transform:none;font-weight:normal;mso-no-proof:yes"><span Bookman Old Style",«serif»;mso-ansi-language:EN-US; font-weight:normal"><span Bookman Old Style",«serif»;mso-fareast-font-family:«Bookman Old Style»; mso-bidi-font-family:«Bookman Old Style»;font-weight:normal">1.<span Times New Roman"">  <span Bookman Old Style",«serif»;font-weight:normal">Введение<span Bookman Old Style",«serif»; font-weight:normal">

<span Bookman Old Style",«serif»; mso-ansi-language:RU">Используемые физические свойства полупроводника известныи используются с конца 19 века. При изобретении радио А.С. Поповым был примененпорошковый когерер, в котором использовались нелинейные свойства зернистыхструктур. В 1923-1924 гг. Лосев О.В. обнаружил наличие отрицательногодифференциального сопротивления и явление люминесценции в точечных контактныхсопротивлениях карбида кремния. В 1940 году был изготовлен первый точечныйдиод. В 1948 году американский физик Дж. Бардии, а также И.Браштейн разработалии изготовили точечно-контактный транзистор, в 1952 г. впервые были созданыпромышленные образцы плоскостных транзисторов. В 1956 г. началось производствотранзисторов с базой, полученной методом диффузии. В начале 60-х годов былаприменена планарная технология изготовления транзисторов. В настоящее время рабочиечастоты   транзисторов достигают 50 ГГц.По уровню рассеиваемой мощности транзисторы делятся на маломощные, средней ибольшой мощности.

<span Bookman Old Style",«serif»; mso-fareast-font-family:«Bookman Old Style»;mso-bidi-font-family:«Bookman Old Style»; font-weight:normal">2.<span Times New Roman"">  <span Bookman Old Style",«serif»;font-weight:normal">Цель задания<span Bookman Old Style",«serif»; font-weight:normal">

 

<span Bookman Old Style",«serif»">Задачей выполнения курсового проекта являетсяразработка маломощного биполярного транзистора в диапазоне, средних и высокихчастот.

Целью работынад проектом является приобретение навыков решения инженерных задач созданиядискретных полупроводниковых приборов, углубление знаний процессов и конструктивнотехнологических особенностей биполярных маломощных транзисторов.

<span Bookman Old Style",«serif»; mso-fareast-font-family:«Bookman Old Style»;mso-bidi-font-family:«Bookman Old Style»; font-weight:normal">3.<span Times New Roman"">  <span Bookman Old Style",«serif»;font-weight:normal">ОБЩАЯ ЧАСТЬ<span Bookman Old Style",«serif»; font-weight:normal"><span Bookman Old Style";mso-bidi-font-family:«Bookman Old Style»"><span Times New Roman"">       Техническое задание.

Техническое задание содержит требования к параметрам иусловиям эксплуатации практикуемого прибора. В данном случае наиболеесущественны следующие параметры:

<span Bookman Old Style";mso-bidi-font-family:«Bookman Old Style»">1.<span Times New Roman"">  

                              Iк ном=9мА.

<span Bookman Old Style";mso-bidi-font-family:«Bookman Old Style»">2.<span Times New Roman"">  

                Uк ном=13В

<span Bookman Old Style";mso-bidi-font-family:«Bookman Old Style»">3.<span Times New Roman"">  

                                  f<span Bookman Old Style";mso-hansi-font-family: «Bookman Old Style»;mso-ansi-language:EN-US;mso-char-type:symbol;mso-symbol-font-family: Symbol">a=90МГц

<span Bookman Old Style";mso-bidi-font-family:«Bookman Old Style»">4.<span Times New Roman"">  

            Рк мах=60мВт

<span Bookman Old Style";mso-bidi-font-family:«Bookman Old Style»">5.<span Times New Roman"">  

              Uк мах=18В

<span Bookman Old Style";mso-bidi-font-family:«Bookman Old Style»">6.<span Times New Roman"">  

                            Iк мах=12мА

<span Bookman Old Style";mso-bidi-font-family:«Bookman Old Style»">7.<span Times New Roman"">  

кмах=74<span Bookman Old Style"; mso-hansi-font-family:«Bookman Old Style»;mso-char-type:symbol;mso-symbol-font-family: Symbol">°С

<span Bookman Old Style";mso-bidi-font-family:«Bookman Old Style»">8.<span Times New Roman"">  

          β=65<span Bookman Old Style";mso-bidi-font-family:«Bookman Old Style»"><span Times New Roman"">       Параметры, выбранные самостоятельно.

<span Bookman Old Style";mso-bidi-font-family:«Bookman Old Style»">1.<span Times New Roman"">  

          τср=5мкс

<span Bookman Old Style";mso-bidi-font-family:«Bookman Old Style»">2.<span Times New Roman"">  

       Ge

<span Bookman Old Style";mso-bidi-font-family:«Bookman Old Style»">3.<span Times New Roman"">  

                p-n-p

<span Bookman Old Style";mso-bidi-font-family:«Bookman Old Style»">4.<span Times New Roman"">  

к=2пФ

<span Bookman Old Style";mso-bidi-font-family:«Bookman Old Style»">5.<span Times New Roman"">  

F Х1=1,3

<span Bookman Old Style";mso-bidi-font-family:«Bookman Old Style»">6.<span Times New Roman"">  

Nб  Х2=500

<span Bookman Old Style";mso-bidi-font-family:«Bookman Old Style»">7.<span Times New Roman"">  

NОЭ/ Nб=3

<span Bookman Old Style";mso-bidi-font-family:«Bookman Old Style»">8.<span Times New Roman"">  

hдс=   мкм

<span Bookman Old Style";mso-bidi-font-family:«Bookman Old Style»">9.<span Times New Roman"">  

Sрек=      слус<span Bookman Old Style";mso-bidi-font-family:«Bookman Old Style»"><span Times New Roman"">       Перечень используемых обозначений

Ak — площадь коллектора;

Аэ — площадь эмитера;

a- градиент концентрации примесей;

<img src="/cache/referats/7970/image002.gif" v:shapes="_x0000_i1025">  — отношениеподвижностей электронов и дырок;

Сз.кзарядная (барьерная) емкость коллекторного перехода;

Сд.э — диффузионная емкость эмитерного перехода;

Сз.э — зарядная (барьерная) емкость эмитерного перехода;

Дп,Др — коэффициенты диффузии электронов и дырок;

Днб,Доб — коэффициенты диффузии не основных и основных носителей в базе;

Днэ,Доэ — коэффициенты диффузии не основных и основных носителей вэмиттере;

Е— напряженность электрического поля;

<span Bookman Old Style";mso-hansi-font-family: «Bookman Old Style»;mso-char-type:symbol;mso-symbol-font-family:Symbol">D

<span Bookman Old Style";mso-hansi-font-family: «Bookman Old Style»;mso-char-type:symbol;mso-symbol-font-family:Symbol">e — ширина запрещенной зоны;

<span Bookman Old Style";mso-hansi-font-family: «Bookman Old Style»;mso-char-type:symbol;mso-symbol-font-family:Symbol">¦

— частота;

<span Bookman Old Style";mso-hansi-font-family: «Bookman Old Style»;mso-char-type:symbol;mso-symbol-font-family:Symbol">¦

<span Bookman Old Style";mso-hansi-font-family: «Bookman Old Style»;mso-char-type:symbol;mso-symbol-font-family:Symbol">a — граничная частота коэффициента передачи тока в схеме с общей базой;

<span Bookman Old Style";mso-hansi-font-family: «Bookman Old Style»;mso-char-type:symbol;mso-symbol-font-family:Symbol">¦

Т<span Bookman Old Style"; mso-hansi-font-family:«Bookman Old Style»;mso-char-type:symbol;mso-symbol-font-family: Symbol">»<span Bookman Old Style"; mso-hansi-font-family:«Bookman Old Style»;mso-char-type:symbol;mso-symbol-font-family: Symbol">¦<span Bookman Old Style";mso-hansi-font-family: «Bookman Old Style»;mso-char-type:symbol;mso-symbol-font-family:Symbol">b — граничная частота коэффициента передачи тока в схеме с общим эмитером;

<span Bookman Old Style";mso-hansi-font-family: «Bookman Old Style»;mso-char-type:symbol;mso-symbol-font-family:Symbol">¦

max — максимальная частота генерации;

hkp — толщина кристалла;

hэ,hk — глубина вплавления в кристалл эмитера и коллектора;

Ln,Lp — средние диффузионные длины электронов и дырок;

Lнб,Lнэ средние диффузионные длины не основных носителей в базе иэмитере;

Nб, Nk, Nэ —концентрации примесей в базе, коллекторе и эмитере сплавного транзистора;

Nб(х) — концентрацияпримеси, формирующей проводимость базы дрейфового транзистора;

Nэ(x) — концентрацияпримеси, формирующей проводимость эмиттера дрейфового транзистора;

ni — равновесная концентрация электронов в собственном полупроводнике;

nn,np — равновесные концентрации электронов в полупроводниках n — типа и p — типа;

Р — мощность,рассеиваемая в коллекторе;

Pkmax — предельно допустимая мощность, рассеиваемая в коллекторе;

Рэ — периметр эмитера;

Рn,Рp — равновесные концентрации дырок в полупроводниках n -типа и p — типа;

Rб,Rэ, Rк — радиусы электродов базы, коллектора, эмитера;

Rm, — тепловое сопротивление;

rб — эквивалентное сопротивление базы;

rб’,rб’’ — омическое и диффузное сопротивление базы;

rэ — сопротивление эмитера без учета эффекта Эрле;

rэ’ — сопротивление эмитера с учетом эффекта Эрле;

S— скорость поверхностной рекомбинации;

Т— абсолютная температура;

Тк— температура корпуса транзистора;

Тmax — максимально допустимая температура коллекторного перехода;

W- геометрическая толщина базы;

Wg— действующая толщина базы;

Uэб — напряжение эмитер-база;

Uкб — напряжение коллектор-база;

Ukpn — контактная разность потенциалов;

Uпроб — напряжение пробоя;

Uпрок — напряжение прокола транзистора;

Uк — напряжение коллекторного перехода;

Ukmax — максимально допустимое напряжение на коллекторе;

Iэ— ток эмитера;

Iб— ток базы;

Iко— обратный ток коллектора при разомкнутом эмиттере;

Ikmax — максимально допустимый ток коллектора;

Iген — ток термогенерации в области объемного заряда;

Iрек— ток рекомбинации;

<span Bookman Old Style";mso-hansi-font-family: «Bookman Old Style»;mso-char-type:symbol;mso-symbol-font-family:Symbol">a

— коэффициент передачи тока в схеме с общей базой;

<span Bookman Old Style";mso-hansi-font-family: «Bookman Old Style»;mso-char-type:symbol;mso-symbol-font-family:Symbol">a

о — низкочастотное значение <span Bookman Old Style";mso-hansi-font-family:«Bookman Old Style»;mso-char-type: symbol;mso-symbol-font-family:Symbol">a;

<span Bookman Old Style"; mso-hansi-font-family:«Bookman Old Style»;mso-char-type:symbol;mso-symbol-font-family: Symbol">a

*— коэффициент усиления тока коллекторного перехода за счет не основных носителейзаряда;

<span Bookman Old Style";mso-hansi-font-family: «Bookman Old Style»;mso-char-type:symbol;mso-symbol-font-family:Symbol">b

—коэффициент передачи тока в схеме с общим эмитером;

<span Bookman Old Style";mso-hansi-font-family: «Bookman Old Style»;mso-char-type:symbol;mso-symbol-font-family:Symbol">g

—коэффициент инжекции эмитера;

бк— толщина коллекторного перехода;

<span Bookman Old Style";mso-hansi-font-family: «Bookman Old Style»;mso-char-type:symbol;mso-symbol-font-family:Symbol">e

— относительнаядиэлектирическая проницаемость;

<span Bookman Old Style";mso-hansi-font-family: «Bookman Old Style»;mso-char-type:symbol;mso-symbol-font-family:Symbol">c

о– коэффициент переноса не основных носителей заряда через область базы;

<span Bookman Old Style";mso-hansi-font-family: «Bookman Old Style»;mso-char-type:symbol;mso-symbol-font-family:Symbol">m

э,<span Bookman Old Style"; mso-hansi-font-family:«Bookman Old Style»;mso-char-type:symbol;mso-symbol-font-family: Symbol">mб– подвижности электронов и дырок;

<span Bookman Old Style";mso-hansi-font-family: «Bookman Old Style»;mso-char-type:symbol;mso-symbol-font-family:Symbol">m

нб,<span Bookman Old Style"; mso-hansi-font-family:«Bookman Old Style»;mso-char-type:symbol;mso-symbol-font-family: Symbol">mоб– подвижности не основных и основных носителей заряда в базе;

<span Bookman Old Style";mso-hansi-font-family: «Bookman Old Style»;mso-char-type:symbol;mso-symbol-font-family:Symbol">m

нэ,<span Bookman Old Style"; mso-hansi-font-family:«Bookman Old Style»;mso-char-type:symbol;mso-symbol-font-family: Symbol">mоэ– подвижности не основных и основных носителей заряда в эмитере;

<span Bookman Old Style";mso-hansi-font-family: «Bookman Old Style»;mso-char-type:symbol;mso-symbol-font-family:Symbol">w

— круговая частота;

<span Bookman Old Style";mso-hansi-font-family: «Bookman Old Style»;mso-char-type:symbol;mso-symbol-font-family:Symbol">r

— удельное сопротивление полупроводника;

<span Bookman Old Style";mso-hansi-font-family: «Bookman Old Style»;mso-char-type:symbol;mso-symbol-font-family:Symbol">r

i — удельное сопротивление собственного полупроводника;

<span Bookman Old Style";mso-hansi-font-family: «Bookman Old Style»;mso-char-type:symbol;mso-symbol-font-family:Symbol">r

э,<span Bookman Old Style"; mso-hansi-font-family:«Bookman Old Style»;mso-char-type:symbol;mso-symbol-font-family: Symbol">rб,<span Bookman Old Style"; mso-hansi-font-family:«Bookman Old Style»;mso-char-type:symbol;mso-symbol-font-family: Symbol">rк — удельные сопротивления эмитера, базы, коллектора;

<span Bookman Old Style";mso-hansi-font-family: «Bookman Old Style»;mso-char-type:symbol;mso-symbol-font-family:Symbol">t

n,p– среднее время жизни электронов и дырок

<span Bookman Old Style";mso-hansi-font-family: «Bookman Old Style»;mso-char-type:symbol;mso-symbol-font-family:Symbol">tt

np– время пролета не основных носителей заряда через базу;

<span Bookman Old Style";mso-hansi-font-family: «Bookman Old Style»;mso-char-type:symbol;mso-symbol-font-family:Symbol">t

n– среднее время жизни носителей заряда, обусловленное поверхностной рекомбинацией;

<span Bookman Old Style";mso-hansi-font-family: «Bookman Old Style»;mso-char-type:symbol;mso-symbol-font-family:Symbol">s

— удельная теплопроводность;<span Bookman Old Style",«serif»; mso-fareast-font-family:«Bookman Old Style»;mso-bidi-font-family:«Bookman Old Style»; font-weight:normal">4.<span Times New Roman"">  <span Bookman Old Style",«serif»;font-weight:normal">Выбортехнологии изготовления транзистора<span Bookman Old Style",«serif»; font-weight:normal">

<span Bookman Old Style",«serif»">Основным элементом конструкции транзистораявляется кристалл, или транзисторная структура кристалла, которая представляетсобой полупроводниковую пластину со сформированными на ней эмиттерным (ЭП) иколлекторным (КП) переходами. Другими элементами конструкции являются корпус,кристаллодержатель, выводы.

<span Bookman Old Style",«serif»">В зависимости от технических требованийпредъявляемых к параметрам транзистора, применяются различные методыформирования транзисторной структуры. Низкочастотные транзисторыизготавливаются по сплавной технологии, высокочастотные – с обязательнымиспользованием процесса диффузии примесей. Основными разновидностями технологииизготовления высокочастотных транзисторов являются: диффузионная, планарная.Чисто диффузионная технология используется для изготовления транзисторов с

<span Bookman Old Style",«serif»;mso-ansi-language: EN-US">f<span Bookman Old Style",«serif»">α<span Bookman Old Style",«serif»"> не превышающими  50-100 МГц, сплавно- и мезо- диффузионная –для диапазонов 50-100 МГц, соответственно, планарная–для <span Bookman Old Style",«serif»;mso-ansi-language: EN-US">fα<span Bookman Old Style",«serif»">=0,5-5ГГц.

<span Bookman Old Style",«serif»">Так как граничная частота

<span Bookman Old Style",«serif»;mso-ansi-language:EN-US">fα<span Bookman Old Style",«serif»"> составляет 250 МГц, то дляизготовления выберем сплавно-диффузионную технологию.

<span Bookman Old Style",«serif»">

<span Bookman Old Style";mso-bidi-font-family:«Bookman Old Style»">4.1<span Times New Roman"">    Сплавно-диффузионные транзисторы.

<span Bookman Old Style",«serif»">

<span Bookman Old Style",«serif»">При диффузионной технологии неоднородностьэмиттерной поверхности приводит к неоднородности толщины базовой области, чтоухудшает возможные частотные свойства транзистора. В сплавно-диффузионной технологиидиффузией формируется лишь базовая область а КП и ЭП формируются вплавлениемэмиттерной навески, под которой образуется рекристализационная зона. При этом вэмиттерную навеску вводится примесь, формирующая под эмиттером активныйдиффузионный слой базы. Коэффициент диффузии этой примеси должен значительнопревышать коэффициент диффузии примеси, формирующей эмиттер и ЭП врекристализационной зоне. Структура сплавно-диффузионного

<span Bookman Old Style",«serif»;mso-ansi-language: EN-US">p<span Bookman Old Style",«serif»">-<span Bookman Old Style",«serif»;mso-ansi-language: EN-US">n<span Bookman Old Style",«serif»">-<span Bookman Old Style",«serif»;mso-ansi-language: EN-US">p<span Bookman Old Style",«serif»">транзистора изображена на рис.1.

<span Bookman Old Style",«serif»">На рис.2 приведены некоторые этапы получениясплавно-диффузионного транзистора. После получения исходной р- пластины

<span Bookman Old Style",«serif»;mso-ansi-language: EN-US">Ge<span Bookman Old Style",«serif»">,протравливают в ней лунку, углубляясь в исходную р- пластину (рис.2.1).травление лунок осуществляется методом фотолитографии. На окислённую пластинунаносят фоторезистивную плёнку, её освещают через маску ультрофиолетовымсветом. Экспонированные места фоторезиста поляризуются. Незаполимеризованныечасти фоторезиста смывают так, что он остаётся только на облучённых местах.Затем производят травление. После получения лунки проводят щдиффузию донарнойпримеси (рис.2.2) затем необходимо отшлифовать поверхность исходной пластины,т.о., чтобы диффузионный слой остался лишь в лунке. Диффузия  донорной примеси приводит к образованиюбазового <span Bookman Old Style",«serif»; mso-ansi-language:EN-US">n<span Bookman Old Style",«serif»">-слоя (рис.2.3). С помощью электрохимического метода через маску вводят навескивплавляемого материала 1 и 4 (рис.2.4). Навеска 1 является эмиттерной,содержащая спал <span Bookman Old Style",«serif»; mso-ansi-language:EN-US">Ni<span Bookman Old Style",«serif»">+ <span Bookman Old Style",«serif»; mso-ansi-language:EN-US">Al<span Bookman Old Style",«serif»">+ <span Bookman Old Style",«serif»; mso-ansi-language:EN-US">In<span Bookman Old Style",«serif»">,а навеска 2- базовой.

<span Bookman Old Style",«serif»">Затем пластину помещают в печь и нагревают дотемпературы, близкой к температуре плавления германия (около 900˚С). Притакой темпиратуре сплавы не только переходят в жидкое состояние, но имеет местодиффузия примесей из жидкой фазы в прилежащую твёрдую фазу. При этом комплексныйхарактер сплава, находится в лунках, обеспечивает одновременное образованиедвух слоёв: базового и эмиттерного, благодаря резко коэффициентам диффузиидонарной и акцепторной примесей в германии: донарная примесь «обгоняет»акцепторную. Под эмиттерной навеской образуется р- область, которая являетсяэмиттером (рис.2.5). Затем получеснную структуру припаивают к кристаллодержателю.Он является выводом коллектора (рис.2.6).

<span Bookman Old Style",«serif»">

<span Bookman Old Style",«serif»">

<span Bookman Old Style",«serif»">

<span Bookman Old Style",«serif»">

<span Bookman Old Style",«serif»">

<span Bookman Old Style",«serif»">

<span Bookman Old Style",«serif»">

<span Bookman Old Style",«serif»">

<span Bookman Old Style",«serif»">

<span Bookman Old Style",«serif»">

<span Bookman Old Style",«serif»">

<span Bookman Old Style",«serif»">

<span Bookman Old Style",«serif»">

<span Bookman Old Style";mso-bidi-font-family:«Bookman Old Style»">4.2<span Times New Roman"">    

транзистора

<img src="/cache/referats/7970/image004.gif" align=«left» hspace=«12» v:shapes="_x0000_s1026"><span Bookman Old Style",«serif»">Рис.2.

<span Bookman Old Style",«serif»"> Структурасплавно-диффузионного p-n-p транзистора.

<span Bookman Old Style",«serif»">

<span Bookman Old Style",«serif»">1,3– выводы базы;

<span Bookman Old Style",«serif»">2– рекристаллизационная область – эмиттер;

<span Bookman Old Style",«serif»">n– размеры кристалла;

<span Bookman Old Style",«serif»">c,d – размеры лунки;

<span Bookman Old Style",«serif»">hкр– толщина кристалла;

<span Bookman Old Style",«serif»">Rэ,Rб – радиусы выводов эмиттера и базы;

<span Bookman Old Style",«serif»">

<span Bookman Old Style",«serif»; mso-fareast-font-family:«Bookman Old Style»;mso-bidi-font-family:«Bookman Old Style»; font-weight:normal">5.<span Times New Roman"">  <span Bookman Old Style",«serif»;font-weight:normal">ОСНОВНАЯЧАСТЬ<span Bookman Old Style",«serif»;font-weight:normal">

Расчёт сплавно-диффузионноготранзистора.

Задачи расчёта

         В результатерасчёта должны быть определены электрофизические и геометрические параметрытранзисторной структуры, параметры эквивалентной Т-образной схемы транзисторапо переменному току, его эксплуатационные параметры. Часть электрофизических игеометрических параметров при расчёте задаётся исходя из соображений номенклатурногопорядка. В конце расчёта выбирается тип корпуса транзистора.

         Витоге должны иметься все геометрические и электрофизические параметры, необходимыедля исполнения конструкторской и основной части технологической документации.Особенно это касается состава диффузантов, навесок и припоев.

<span Bookman Old Style";mso-bidi-font-family:«Bookman Old Style»">5.1<span Times New Roman"">    

Действующая толщина базыопределяется соотношением (1).

<img src="/cache/referats/7970/image006.gif" v:shapes="_x0000_i1026">     (1)

где tпр-время пролёта базы

tпр=<img src="/cache/referats/7970/image008.gif" v:shapes="_x0000_i1027">          (2)

где <img src="/cache/referats/7970/image010.gif" v:shapes="_x0000_i1028">  — коэффициент запасапо частоте f, <img src="/cache/referats/7970/image010.gif" v:shapes="_x0000_i1029">

<img src="/cache/referats/7970/image012.gif" v:shapes="_x0000_i1030"> сек.

Задавшисьвеличиной перепада концентраций примеси на границах базы х=200, выразим среднеезначение концентрации примеси на границах базы по формуле (3).

<img src="/cache/referats/7970/image014.gif" v:shapes="_x0000_i1031">     (3)

Таккак      <img src="/cache/referats/7970/image016.gif" v:shapes="_x0000_i1032">  необходимоопределить концентрацию примеси, формирующей коллекторную область

<img src="/cache/referats/7970/image018.gif" v:shapes="_x0000_i1033">

Длянахождения концентрации базы NБиспользуем связь напряжения пробоя Uпроб с удельным сопротивлением коллектора ρк:

<img src="/cache/referats/7970/image020.gif" v:shapes="_x0000_i1034">      (5)

где <img src="/cache/referats/7970/image022.gif" v:shapes="_x0000_i1035">     <img src="/cache/referats/7970/image024.gif" v:shapes="_x0000_i1036">       (6)

<img src="/cache/referats/7970/image026.gif" v:shapes="_x0000_i1037">

Удельное сопротивлениеколлектора рассчитывается по формуле (7)

<img src="/cache/referats/7970/image028.gif" v:shapes="_x0000_i1038">   (7)

Для выбранного намитипа структуры транзистора (Ge,p-n-p)

B=5.2,  n=0.61, l=1/6               /1/

x=0.8 (для дрейфовых транзисторов).Подставим численные значения в выражение (7), а затем в (5).  

<img src="/cache/referats/7970/image030.gif" align=«left» hspace=«12» v:shapes="_x0000_s1027">

                                       =0,9903 Ом*см

<img src="/cache/referats/7970/image032.gif" align=«left» hspace=«12» v:shapes="_x0000_s1028">

=12,748 В

По графикуизображенному на рис3.3.1 найдём величину концентрации No

<img src="/cache/referats/7970/image034.gif" v:shapes="_x0000_i1039">

Определим среднеезначение концентрации примеси NБ,формирующий проводимость базы с помощью соотношений (3) и (4)

<img src="/cache/referats/7970/image036.gif" v:shapes="_x0000_i1040">

<img src="/cache/referats/7970/image038.gif" v:shapes="_x0000_i1041">

         По графику, на рис 3.4.1, найдёмсреднее значение подвижности не основных носителей заряда в базе <img src="/cache/referats/7970/image040.gif" v:shapes="_x0000_i1042">

<img src="/cache/referats/7970/image042.gif" v:shapes="_x0000_i1043">

         Определим среднее значение коэффициентадиффузии в базе, воспользовавшись соотношением (8)

<img src="/cache/referats/7970/image044.gif" v:shapes="_x0000_i1044">                 (8)

где <img src="/cache/referats/7970/image046.gif" v:shapes="_x0000_i1045">

<img src="/cache/referats/7970/image048.gif" v:shapes="_x0000_i1046">               (9)

<img src="/cache/referats/7970/image050.gif" v:shapes="_x0000_i1047">

<img src="/cache/referats/7970/image052.gif" v:shapes="_x0000_i1048"></spa

еще рефераты
Еще работы по радиоэлектронике