Реферат: Вторично-ионная масса спектрометрия

Калужский Филиал

Московского Государственного

Технического Университета

им. Н. Э. Баумана

Кафедра Материаловедения и Материалов ЭлектроннойТехники

КУРСОВАЯ РАБОТА

 

по курсу  МИМ и КЭТ

на тему:

“Вторично-ионная

   масс-спектрометрия“


  выполнил:  студент гр. ФТМ—81

                                                                               Тимофеев А. Ю.

                                                          проверил:   Леднева Ф. И.

г. Калуга

 1997 год.


Содержание

Введение                                                                                                3

Взаимодействиеионов с веществом                                                   3

Вторично-ионнаяэмиссия                                                                   5

Оборудование ВИМС.                                                                         8

Принципдействия установок.                                                            9

Установки,не обеспечивающие анализа распределения частиц по поверхности     10

Установки,позволяющие получать сведения о распределении                                    11

 элементапо поверхности, со сканирующим ионным зондом 

Установкис прямым изображением                                                                              11

Порогчувствительности                                                                      12

Анализследов элементов                                                                     14

Ионноеизображение                                                                                      16

Требованияк первичному ионному пучку                                                17

Масс-спектрометрическийанализ нейтральных                             18

распыленныхчастиц

Количественный анализ                                                                   19

Глубинные  профили концентрации  элементов                       22

Приборныефакторы, влияющие на разрешение                             23

поглубине при измерении профилей концентрации                       

Влияниеионно-матричных эффектов  на разрешение                    25

поглубине при измерении профилей  концентрации

Применения                                                                                         26

Исследованиеповерхности                                                                           26

Глубинныепрофили концентрации                                                            27

Распределение частиц поповерхности,                                                       27

микроанализ и объемныйанализ 

Заключение                                                                                          27

Список литературы                                                                                             29
Введение

            Возможностиполучения сведений о составе внешнего атомного слоя твердого тела значительнорасширялись всвязи с разработкой и усовершенствованием метода вторично-ионноймасс-спектрометрии (ВИМС) и других методов. Большинство таких методов близки ктому, чтобы анализировать саму поверхность, поскольку основная информация осоставе материала поступает из его приповерхностной области толщиной порядка10А, а чувствительность всех таких методов достаточна для обнаружения малыхдолей моноатомного слоя большинства элементов.

            Взаимодействиебыстрых ионов с твердым телом приводит к выбиванию атомов и молекул материалакак в нейтральном, так и в заряженном состоянии. На таком явлениисравнительного эффективного образования заряженных частиц (вторичных ионов) ина принципе высокочувствительных масс-спектрометрических измерениях и основанметод ВИМС. Хотя у него, как у любого другого метода, имеются свои недостатки, толькоон один дает столь широкие возможности исследования и поверхности, и объематвердого тела в одном приборе. Наиболее важными характерными особенностямиметода, которые вызывают повышенный интерес к нему, являются очень низкий порогчувствительности для большинства элементов (меньше 10-4 моноатомногослоя), измерение профилей концентрации малых количеств примесей с разрешение поглубине меньше 50А, разрешение по поверхности порядка микрометра, возможностьизотопического анализа и обнаружение элементов с малыми атомными номерами (H,Li, Be и т. д.)

Взаимодействиеионов с веществом

                        />

                        Фиг.1.Виды взаимодействий ионов с твердым телом [2].

еще рефераты
Еще работы по радиоэлектронике