Реферат: Лавинно-пролетный диод
Содержание
Введение.................................................................................................. 31Основные особенности лавинно-пролетных диодов.........................
4 2 Диоды с полевой эмиссией.................................................................. 9 3 Принцип работы ЛПД.......................................................................... 15 Заключение.............................................................................................. 19 Список использованной литературы..................................................... 20ВВЕДЕНИЕ
Настоятельнаянеобходимость миниатюризации аппаратуры СВЧ, повышение ее экономичности инадежности вызвала быстрый рост рабочих частот полупроводниковых приборов.Наряду с большими успехами в технологии транзисторов этому способствовалооткрытие новых физических явлений в полупроводниках, сделавшее возможнымразработку приборов, адекватных СВЧ диапазону.
Одним из первых явлений такого родабыло обнаруженное СВЧ излучение при ударной ионизации в р-п переходах,послужившее основой для создания в 1959 г. новых СВЧ приборов—лавинно пролетныхдиодов (ЛПД).
На базе ЛПД создаются ибыстро совершенствуются разнообразные приборы и устройства, в первую очередь генераторыкогерентных и шумовых колебаний сантиметрового и миллиметрового диапазонов.Малые габариты и вес, экономичность, виброустойчивость и т. п. позволяютотнести генераторы на ЛПД к числу наиболее перспективных источниковэлектромагнитных колебаний СВЧ, открывающих широкие возможности развития СВЧмикросхемотехники.
1 ОСНОВНЫЕ ОСОБЕННОСТИЛАВИННО-ПРОЛЕТНЫХ ДИОДОВ
Характерной особенностью развитиясовременной радиотехники является быстрое продвижение полупроводниковыхприборов в область сверхвысоких частот. Прогресс в этом направлении былдостигнут в результате значительного усовершенствования технологии изготовлениявысокочастотных транзисторов, разработки туннельных диодов и диодов спеременной емкостью (варакторов). Хотя все эти приборы появились совсемнедавно, они уже широко применяются в диапазоне СВЧ в качестве элементоввысокочувствительных приемных устройств и умножительных цепочек. Однако допоследнего времени не удавалось создать эффективного автогенераторасантиметровых волн, который мог бы служить твердотельным эквивалентом одногоиз основных электровакуумных приборов СВЧ — отражательного клистрона.
Этот пробел в значительной меревосполняет новый полупроводниковый СВЧ прибор — лавинно-пролетныйдиод (ЛПД), являющийся основой целого класса СВЧ устройств; генераторов,усилителей и преобразователей частоты.
Впроцессе исследования зависимости коэффициента преобразования частоты вдиапазоне СВЧ на параметрических полупроводниковых диодах от величины приложенногок диоду постоянного смещения и мощности накачки было установлено, что прибольших значениях обратного напряжения, превышающих пробивное, некоторые издиодов генерировали СВЧ колебания и в отсутствие сигнала накачки.
Диффузионные диоды смеза-структурой и одним р-п переходом, сформированным путем диффузии мышьяка вгерманий р-типа, легированный галлием (рис. 1).
Рис. 1. Структура диода.
Рис. 2. Схема включения ЛПД в цепьпостоянного тока.
Диод помещали в высокочастотныйрезонатор и включали в цепь постоянного тока, как показано на рис. 2. ГенерацияСВЧ колебаний наблюдалась при отрицательных напряжениях, на 0,5—1,5 В,превышающих пробивное напряжение, когда через диод проходил постоянный ток от0,5 до 10—15 мА. Мощность колебаний в непрерывном режиме составляла дляразличных диодов величину от десятков микроватт до нескольких милливатт.Спектр колебаний в зависимости от тока, текущего через диод, и настройкирезонатора изменялся от близкого к шумовому до почти монохроматического. Длинаволны колебаний лежала в пределах от 0,8 до 10 см и зависела от размероврезонатора и значений реактивных параметров диодов. Перестраивая резонатор (например,перемещением короткозамыкающего плунжера), можно было плавно изменять частоту имощность колебаний. В недовозбужденном режиме вблизи порога генерациинаблюдалось регенеративное усиление СВЧ колебаний с коэффициентом усиления15—20 дб. Диоды на которых были получены генерация и усиление СВЧ колебаний,как правило, не давали заметной паразитной генерации на более низких частотах,хотя не принималось специальных мер для ее подавления.
Рис 3.Обратная ветвь вольтамперной характеристики ЛПД
Уже первые экспериментыпоказали, что основным признаком генерирующих диодов, является форма обратнойветви их вольтамперной характеристики, показанной на рис. З сплошной линией.Как видно из рисунка, особенностью этой характеристики является резкий изломпри пробивном напряжении Uпр. Приотрицательных напряжениях, меньших (по абсолютной величине) Uпр, ток, текущий через диод (ток насыщения), очень мал и составляет дляразличных диодов от 0,01 до 1 мкA. При U=Unp вольтамперная характеристика претерпеваетрезкий излом, ток резко возрастает и при дальнейшем увеличении отрицательногосмещения растет почти линейно с напряжением. Максимальное значениепостоянного тока диода ограничивалось опасностью теплового пробоя, выводящегодиод из строя.
Наклон вольтампернойхарактеристики на рабочем участке был всюду положительным и соответствовалположительному дифференциальному сопротивлению Rд слабо зависящему от тока и лежащему для различныхдиодов в интервале 50—300 Ом.
Вольтампернаяхарактеристика негенерировавших диодов, как правило, отличалась более или менееплавным увеличением тока вблизи пробивного напряжения (штриховая кривая рис.З) и большим значением дифференциального сопротивления Rд на этом участке. На некоторых диодах при U>Uпр наблюдались скачки тока,соответствующие участкам вольтамперной характеристики с отрицательнымнаклоном. Эти диоды в ряде случаев давали низкочастотную генерацию (1—10 кГц),но, как правило, не генерировали СВЧ колебания.
Последующие экспериментыпоказали, что подобные же явления (генерация СВЧ колебаний) могут наблюдатьсяи на диодах другой структуры: диффузионных на базе n-германия, сплавных германиевых диодах с резким р-п переходом, диффузионных и сплавных кремниевых диодах ит. д.
Таким образом, была установленавозможность эффективной (с КПД > 1%) генерации, а также усиления СВЧколебаний полупроводниковым диодом, вольтамперная характеристика которого неимеет «падающих» участков или, иначе говоря, не имеет «статического» отрицательногосопротивления.
Физическаяприрода этого динамического отрицательного сопротивления связана с процессомударной ионизации в р-п переходе и с взаимодействием образованной при этомлавины свободных носителей тока (электронов и дырок) с высокочастотным полем вслое объемного заряда (запойном слое) обратно смещенного р-п перехода. Действительно,известно два основных механизма резкого возрастания тока в обратно смещенномр-п переходе — лавинный пробой вследствие ударной ионизации атомов кристаллаподвижными электронами и дырками и эффект Зинера — туннельный переходносителей заряда из заполненной зоны одного полупроводника в свободную зонудругого. Эффект Зинера проявляется лишь в достаточно узких р-п переходах снапряжением пробоя меньше 5 В для германия. В нашем случае это напряжениепревышало 20 В, так что возрастание тока можно было целиком отнести за счетударной ионизации. Исследования подтвердили это предположение, и диоды, вкоторых наблюдался эффект генерации СВЧ колебаний, были названылавинно-пролетными.
2 ДИОДЫ С ПОЛЕВОЙЭМИССИЕЙ
Диоды с динамическимотрицательным сопротивлением известны в вакуумной электронике уже 60 лет. Л.Левеллин экспериментально показал возможность создания на основе такого диодагенератора СВЧ. Схема подобного генератора включает диодный промежуток,ограниченный двумя электродами — катодом и анодом, к которым приложенапостоянная U0и переменная U~разности потенциалов, и внешний колебательный контур.
С термоэмиссионного катода в диодныйпромежуток поступает немодулированный поток электронов. Под действиемпеременного поля скорость электронов изменяется, и первоначально однородныйэлектронный поток группируется. При этом средняя (за период) энергиявзаимодействия электронов с переменным полем оказывается отличной от нуля изависящей от угла пролета электронов в диоде q = wt (t—времяпролета электронов). В определенных интервалах значений угла пролета
2pn < q < (2n + 1) (n = 1, 2,...).
Эта энергия отрицательна, т. е.происходит трансформация кинетической энергии электронов в энергиювысокочастотного поля. В соответствующих диапазонах частот активноесопротивление диода отрицательно.
Однако поскольку группировкаэлектронов и отбор высокочастотной мощности происходят в одном и том жепролетном пространстве при отсутствии в этом пространстве замедленныхэлектромагнитных волн, эффективность такого взаимодействия невелика иабсолютная величина активного сопротивления диода много меньше величины егореактивного (емкостного) сопротивления. Поэтому для создания автогенератора вСВЧ диапазоне приходится подключать к диоду внешний контур с высокойдобротностью и снимать с катода очень большие плотности тока. В связи с этимреализация подобных генераторов встретила значительные трудности и они не нашлипрактического применения.
Между тем существуетпринципиально простой способ резкого повышения эффективности диодных генераторов.Он заключается в замене модуляции электронов по скорости модуляцией по току навходе в диодный промежуток.
Допустим, что вместотермоэмиссионного катода в диоде используется какой-либо тип автоэмиссионного катода с достаточно резкой зависимостью тока эмиссии от напряженности электрическогополя. В этом случае выходящий из катода поток электронов будет модулирован поплотности с частотой приложенного напряжения.
Активное сопротивлениетакого диода может принимать отрицательные значения и при отсутствиидополнительной группировки электронов в диодном промежутке. Это хорошо виднона пространственно-временной диаграмме движения электронов в диоде с полевойэмиссией, изображенной на рис. 4а. Сгустки электронов, вырванные из катода вмоменты максимума высокочастотного поля, движутся сначала в ускоряющем, а затемв тормозящем поле, и, если угол пролета между катодом и анодом превышает p, активное сопротивление диодаотрицательно и достигает максимальной величины при q » 3/2 p(рис. 1.2, а). Дополнительная группировка электронов за счет модуляции поскорости в диодном промежутке играет при этом второстепенную роль. Как условиявозбуждения, так и к. п. д. такого генератора могут быть значительно лучшими,чем у диодных генераторов со скоростной модуляцией электронов.
Рис. 4а относится к случаю, когда токэмиссии мгновенно следует за напряженностью электрического поля. Допустимтеперь, что по каким-либо причинам ток эмиссии отстает во времени отнапряженности электрического поля. Причины такого запаздывания эмиссии могутбыть различными.
Рис. 1.1.Пространственно-временная диаграмма движения электронов в диоде с полевойэмиссией:
а) без запаздывания эмиссии;
б) сзапаздыванием эмиссии.
Зависимость активного сопротивлениятакого диода от угла пролета электронов без учета электронногопространственного заряда схематически изображена на рис. 5б. В идеальномслучае КПД такого генератора может достигать больших значений.
Рис. 5. Активноесопротивление диода с полевой эмиссией:
а) без запаздывания эмиссии;
б) сзапаздыванием эмиссии.
В предыдущих рассужденияхмы исходили из чисто кинематической модели, пренебрегая влиянием объемногозаряда на группировку электронов в диодном промежутке. Между тем это влияниево многих вариантах диодных генераторов отнюдь не мало. Особенно существеннароль объемного заряда в диодах с полевой эмиссией, в которых электронныйобъемный заряд, снижая напряженность электрического поля у катода, непосредственновлияет на ток эмиссии. По существу электронный объемный заряд создает в диодесвоеобразный механизм внутренней отрицательной обратной связи. Если ток эмиссиимгновенно следует за полем, то действие этой отрицательной обратной связисводится лишь к ограничению протекающего через диод среднего тока. Однако, еслиэмиссия инерционна, положение существенно меняется.
Отставание тока эмиссии от поляэквивалентно введениию в отрицательную обратную связь запаздывания, чтосущественно влияет на колебательные свойства системы. Обладая определеннымидисперсионными свойствами, такая обратная связь на одних частотах облегчаетусловия возбуждения автоколебаний в системе, снижая требования к добротностивнешнего резонансного контура, а на других, напротив, ухудшает эти условиявплоть до полного подавления автоколебаний. Более того, при некоторых условияхэта связь может оказаться достаточной, чтобы в диоде возникли собственныеавтоколебания, вообще не нуждающиеся во внешнем добротном резонансном контуре.В этом случае диодный промежуток работает как автоколебательная система, создаваяво внешней активной нагрузке импульсы тока с частотой, определяемой временемзапаздывания и скоростью «срабатывания» отрицательной обратной связи.
Колебательный процесс в такомгенераторе можно схематически представить следующим образом (рис. 6).
Допустим, например, что время пролетаэлектронов в диоде t независит от высокочастотного поля и вдвое превышает время запаздывания эмиссии.Пусть в момент времени t=0к диоду приложена разность потенциалов U0,создающая у катода напряженность поля Е=Е(0), превышающую на DE(0) критическое значение Enp, при котором начинается эмиссияэлектронов.
Рис. 6. Изменение во времени поля у катода Е(0) и тока IЭ в диоде с запаздывающей эмиссией.
При t=t1=t3 возникает ток IЭ, величина которого определяется полем Е(0) исохраняется неизменной в течение времени t3.По мере увеличения объемного заряда в диодном промежутке поле у катодаснижается и, если плотность тока эмиссии достаточно высока, принимает значения,меньшие Uпр. Эмиссия из катода длится в течениевремени, несколько превышающего t3, и затем прекращается. К аноду движется пакет электронов. В момент t2=t+2t3+Dt»3/2t первые электроны пакета достигаютанода, поле у катода начинает возрастать. К моменту t2=t+2t3+Dt»3/2t весь пакет электронов выходит изпролетного пространства, поле у катода достигает начальной величины. Затем циклповторяется. Длительность цикла, т. е. период колебаний, составляет, такимобразом, около 2p/w. Добавление поля электронногопространственного заряда нарушает описанные выше фазовые соотношения междутоком эмиссии и электрическим полем в диодном промежутке, в результате чего начастотах, ниже некоторого значения, активное сопротивление диода становитсяположительным. Эта так называемая характеристическая частота зависит от запаздыванияи крутизны изменения тока эмиссии с полем; она близка к частоте собственныхавтоколебаний диода.
Изложенные соображения носят общийхарактер и полностью применимы не только к вакуумным, но и к диодам другихтипов —диэлектрическим, полупроводниковым и т. п., с учетом, разумеется,специфики движения носителей заряда в твердых телах. В частности, этисоображения имеет непосредственное отношение к механизму работылавинно-пролетных диодов.
3ПРИНЦИП РАБОТЫ ЛПД
Схематически механизм работы р-n ЛПДможно представить следующим образом. Рассмотрим для определенности запорныйслой обратно смещенного плавного p-n перехода (рис. 7). Он представляет собой участок полупроводника, вкотором практически отсутствуют подвижные носители заряда, а приложенная к р-n переходу разность потенциаловкомпенсируется полем объемного заряда ионов примеси Nnи Np, положительным в одной частизапорного слоя (n-слой) и отрицательным — в другой (p-слой). Этот участокограничен с обеих сторон нейтральными слоями полупроводника. Напряженностьэлектрического поля Е максимальна в плоскости х=0, где объемныйзаряд ионов примеси меняет знак (плоскость технологического перехода). По мереувеличения напряжения смещения запорный слой расширяется и напряженностьэлектрического поля возрастает. Когда поле в плоскости технологического переходадостигает некоторого критического значения Е = Еnp, начинается интенсивный процессударной ионизации атомов кристалла подвижными носителями заряда, приводящий клавинному умножению числа носителей и образованию новых электронно-дырочныхпар.
Область, где происходит рождениеносителей заряда, ограничена более или менее узким слоем — так называемымслоем умножения, расположенным вблизи технологического перехода, где поле<sup/>максимально (рис. 7). Образованные в слое умножения электроны и дыркидрейфуют под действием сильного электрического поля к границе нейтрального полупроводникачерез пролетные участки запорного слоя, причем дырки движутся через р-слой, а,электроны через п-слой. Так как напряженность электрического поля в большейчасти р-п перехода очень велика, то скорость дрейфа носителей практическипостоянна и не завялит от поля.
Рис. 7. Схемаплавного р-п перехода ЛПД:
а) запирающийслой;
б)распределение ионов примеси;
в) измениеэлектрического поля.
Таким образом, обратно смещенный р-ппереход при напряжении, близком к пробивному, представляет собой диодныйпромежуток, в котором роль катода играет слой умножения, а роль пролетногопространства — остальная часть запорного слоя. Эмиссия такого катода носит ярковыраженный «полевой» характер — ток, выходящий из слоя умножения, возрастаетили убывает в зависимости от напряженности электрического поля в этом слое.Лавинная природа тока эмиссии обусловливает его инерционность — для развитиялавины требуется определенное время, так что мгновенное значениеэлектрического поля определяет не саму величину лавинного тока, а лишьскорость его изменения во времени. Поэтому изменение тока не следует мгновенноза изменением электрического поля, а отстает от него по фазе на величину,близкую к p/2.
Такой р-п переход близокпо свойствам к оптимальному варианту полевого диода, в котором ток эмиссииотстает от поля на четверть периода. Под действием приложенного к р-п переходупеременного напряжения из слоя умножения выходят «пакеты» носителей заряда,которые сразу попадают в тормозящее высокочастотное поле, так что энергиявзаимодействия этих носителей с полем отрицательна почти при любой ширине р-пперехода. Отсутствие модуляции скорости носителей в этом случае лишь улучшаетвысокочастотные свойства диода.
Поэтому основные выводы освойствах полевого диода с запаздывающей эмиссией, сделанные выше, применимыи к лавинно-пролетному диоду. Это касается, в частности, соображений о влиянииобъемного заряда подвижных носителей на колебательные свойства генератора налавинно-пролетном диоде. Попадая в пролетное пространство, основные носителичастично нейтрализуют пространственный заряд ионов примеси и снижают поле вслое умножения. Этот эффект облегчает условия самовозбуждения генератора начастотах выше характеристической и препятствует возникновению паразитныхколебаний на более низких частотах, где активное сопротивление диодаположительно.
Вместе с тем, ЛПД имеет специфическиеособенности, связанные с лавинной природой тока, из которых принципиальнойявляется одна: сдвиг по фазе между полем и током в слое умножения, вследствиеконечной ширины последнего, как правило, превышает p/2, и слой умножения сам по себе ужеобладает отрицательным сопротивлением. В большинстве практически реализуемыхр-п структур этот эффект является второстепенным, однако для одного классадиодов он играет решающую роль, определяя основные особенности их высокочастотныххарактеристик.
Сдвиг фаз между током и напряжениемна диоде определяется в этом случае инерционностью процесса ударной ионизации ипролетными эффектами во всем запорном слог. Вместе эти эффекты обеспечиваютдостаточно высокую эффективность взаимодействия носителей тока с высокочастотнымэлектрическим полем, сравнимую с эффективностью взаимодействия в ЛПД другихтипов.
Наряду с лавинно-пролетным могут,очевидно, существовать и другие полупроводниковые диоды с динамическимотрицательным сопротивлением. Так, например, этим свойством должен в принципеобладать обратно смещенный р-п переход, в котором пробой связан не с ударнойионизацией, а с эффектом Зинера (туннельным эффектом). Так как участок, гдепроисходит рождение подвижных носителей тока, в этом случае локализован втонком слое, где электрическое поле максимально, такой полупроводниковый диод(его можно назвать «туннельно-пролетным диодом») должен быть, очевидно, аналогиченпо своим свойствам, вакуумному диоду с автоэмиссионным катодом. Если возможно пренебречь инерцией туннельного эффекта, то в отличие отлавинно-пролетного диода в диоде Зинера ток и поле у «катода» следует считатьсинфазными. Как отмечалось выше, и в этом случае в определенных интервалахзначений угла пролета носителей заряда активное сопротивление р-п переходаможет быть отрицательным. Однако отсутствие запаздывания в механизме обратнойсвязи, создаваемой объемным зарядом подвижных носителей, ухудшает условиясамовозбуждения колебаний. Поэтому генераторы на диодах Зинера осуществитьтруднее, чем генераторы на лавинно-пролетных диодах.
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
Современная техника СВЧ немыслима безприменения полупроводниковых диодов. Видеодетектирование, гетеродинноесмешение, усиление слабых сигналов, генерация гармоник, коммутация СВЧ мощности– таковы функции, выполняемые в настоящее время полупроводниковыми диодами вСВЧ системах. Естественно, что такое многообразие применений приводит кмногообразию требований, предъявляемых к характеристикам различных типовдиодов. Чтобы удовлетворить этим требованиям, разработчик диодов имеетопределенную свободу в выборе полупроводникового материала, из которого должныбыть изготовлены диоды, его удельного сопротивления, технологии изготовлениядиода, его геометрии. Причем набор оптимальных электрофизических параметровполупроводникового материала и его геометрических размеров может быть сделанлибо на основе эмпирического характера, либо на основе теории, дающей связьмежду электрофизическими параметрами полупроводника и его геометрическимиразмерами.
СПИСОКИСПОЛЬЗОВАННОЙ ЛИТЕРАТУРЫ
1. А.С. Тагер,В.М. Вальд-Перлов. Лавинно-пролетные диоды и их применение в технике СВЧ. М.,«Сов.радио», 1968.
2. С.Н. Иванов,Н.А. Пенин, Н.Е. Скворцова, Ю.Ф. Соколов. Физические основы работыполупроводниковых СВЧ диодов. М., 1965.
3. Пасынков В.В,Л.К. Чиркин, А.Д. Шинков. Полупроводниковые приборы и диэлектрики». М., «Высш.школа», 1973.